Технические пособия

Технологии очистки металлических деталей Технологии очистки оптических деталей

Чистые производственные помещения

Чистые производственные помещения

На сегодняшний день чистые производственные помещения применяются в различных отраслях промышленности, в особенности там, где необходимо соблюсти точность процесса и исключить влияние внешних факторов.

Наибольшее распространение чистые комнаты получили в отраслях электронной промышленности, оптического производства и фармакологии. Они подразумевают под собой создание зоны с избыточным давлением и низким содержанием частиц и бактерий. Так же очень важно, чтобы большинство поверхностей в чистой зоне были антистатическими и не выделяли частиц.

Избыточное давление создается посредством приточной вентиляции через фильтры тонкой очистки (HEPA и ULPA). Так как поток воздуха в чистой комнате должен быть ламинарным, фильтры располагаются в определенном порядке для исключения возникновения турбулентных потоков. Таким образом, частицы, выделяемые в чистом помещении, «улетают» к полу и выводятся из помещения.

Чистые помещения разделяются по классу чистоты, т.е. по количеству частиц, содержащихся в единице объема:

Класс ИСО (Классификационное число N) Пределы максимальных концентраций (частицы/м3 воздуха) частиц размером, равным и большим приведенного ниже, мкм
0,1 0,2 0,3 0,5 1,0 5,0
Класс 1 ИСО 10 2        
Класс 2 ИСО 100 24 10 4    
Класс 3 ИСО 1 000 237 102 35 8  
Класс 4 ИСО 10 000 2 370 1 020 352 83  
Класс 5 ИСО 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
Класс 6 ИСО 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293
Класс 7 ИСО       352 000 83 200 2 930
Класс 8 ИСО       3 520 000 832 000 29 300
Класс 9 ИСО       35 200 000 8 320 000 293 000

 Исходя из технологических процессов, чистые комнаты в микроэлектронике имеют самые высокие классы чистоты. Это обусловлено требованиями, предъявляемыми к прецизионности технологических процессов изготовления микросхем и микросборок. К производству таких чистых комнат применяют самые высокие требования.

Специалисты НТК Солтек осуществляют разработку и поставку «под ключ» технологических решений, обеспечивающих как очистку поверхностей изделий, так и чистоту окружающего воздушного пространства. Требования к чистым комнатам для электронной промышленности устанавливаются в зависимости от технологических процессов, протекающих в данном помещении. Так, для литографических процессов необходимо купить чистую комнату класса ISO 2, в то время, как для сборочно-монтажных участков достаточно класса ISO 8.

В следующей таблице приведены типы производств в соответствии с классом чистоты помещения:

ISO 14644 Продукция и работы
ISO 1  
ISO 2 Фотолитография и другие критические зоны.
ISO 3 Производство интегральных микросхем с субмикронной геометрией.
ISO 4 Производство интегральных микросхем с расстоянием между проводниками менее 2 мкм.
ISO 5 Асептическое производство инъекционных препаратов, требующее отсутствия микроорганизмов и частиц. Хирургические операции по имплантации и трансплантации органов. Изоляция пациентов с иммунным дефицитом, в том числе после пересадки костного мозга.
ISO 6 Производство оптических элементов высокого класса. Сборка миниатюрных подшипников
ISO 7 Сборка прецизионного гидравлического и пневматического оборудования, клапанов с сервоприводами, высокоточных часовых механизмов, трансмиссий высокого качества.
ISO 8 Оптическое производство, сборка электронных компонентов, сборка гидравлических и пневматических устройств.
ISO 9 Вспомогательные помещения, склады прецизионного оборудования, помещения для переодевания.

В случае необходимости проектирования и создания чистого производственного помещения, либо отдельных зон, оснащенных ламинарными боксами, Вы можете обращаться к специалистам ООО «НТК Солтек». Цена на чистые комнаты зависит от состава оборудования и площади проектируемой комнаты.