На сегодняшний день чистые производственные помещения применяются в различных отраслях промышленности, в особенности там, где необходимо соблюсти точность процесса и исключить влияние внешних факторов.
Наибольшее распространение чистые комнаты получили в отраслях электронной промышленности, оптического производства и фармакологии. Они подразумевают под собой создание зоны с избыточным давлением и низким содержанием частиц и бактерий. Так же очень важно, чтобы большинство поверхностей в чистой зоне были антистатическими и не выделяли частиц.
Избыточное давление создается посредством приточной вентиляции через фильтры тонкой очистки (HEPA и ULPA). Так как поток воздуха в чистой комнате должен быть ламинарным, фильтры располагаются в определенном порядке для исключения возникновения турбулентных потоков. Таким образом, частицы, выделяемые в чистом помещении, «улетают» к полу и выводятся из помещения.
Чистые помещения разделяются по классу чистоты, т.е. по количеству частиц, содержащихся в единице объема:
| Класс ИСО (Классификационное число N) | Пределы максимальных концентраций (частицы/м3 воздуха) частиц размером, равным и большим приведенного ниже, мкм | |||||
| 0,1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1,0 | 5,0 | |
| Класс 1 ИСО | 10 | 2 | ||||
| Класс 2 ИСО | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| Класс 3 ИСО | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| Класс 4 ИСО | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
| Класс 5 ИСО | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
| Класс 6 ИСО | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| Класс 7 ИСО | 352 000 | 83 200 | 2 930 | |||
| Класс 8 ИСО | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | |||
| Класс 9 ИСО | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 | |||
Исходя из технологических процессов, чистые комнаты в микроэлектронике имеют самые высокие классы чистоты. Это обусловлено требованиями, предъявляемыми к прецизионности технологических процессов изготовления микросхем и микросборок. К производству таких чистых комнат применяют самые высокие требования.
Специалисты НТК Солтек осуществляют разработку и поставку «под ключ» технологических решений, обеспечивающих как очистку поверхностей изделий, так и чистоту окружающего воздушного пространства. Требования к чистым комнатам для электронной промышленности устанавливаются в зависимости от технологических процессов, протекающих в данном помещении. Так, для литографических процессов необходимо купить чистую комнату класса ISO 2, в то время, как для сборочно-монтажных участков достаточно класса ISO 8.
В следующей таблице приведены типы производств в соответствии с классом чистоты помещения:
| ISO 14644 | Продукция и работы |
| ISO 1 | |
| ISO 2 | Фотолитография и другие критические зоны. |
| ISO 3 | Производство интегральных микросхем с субмикронной геометрией. |
| ISO 4 | Производство интегральных микросхем с расстоянием между проводниками менее 2 мкм. |
| ISO 5 | Асептическое производство инъекционных препаратов, требующее отсутствия микроорганизмов и частиц. Хирургические операции по имплантации и трансплантации органов. Изоляция пациентов с иммунным дефицитом, в том числе после пересадки костного мозга. |
| ISO 6 | Производство оптических элементов высокого класса. Сборка миниатюрных подшипников |
| ISO 7 | Сборка прецизионного гидравлического и пневматического оборудования, клапанов с сервоприводами, высокоточных часовых механизмов, трансмиссий высокого качества. |
| ISO 8 | Оптическое производство, сборка электронных компонентов, сборка гидравлических и пневматических устройств. |
| ISO 9 | Вспомогательные помещения, склады прецизионного оборудования, помещения для переодевания. |
В случае необходимости проектирования и создания чистого производственного помещения, либо отдельных зон, оснащенных ламинарными боксами, Вы можете обращаться к специалистам ООО «НТК Солтек». Цена на чистые комнаты зависит от состава оборудования и площади проектируемой комнаты.
