Вакуумное нанесение покрытий – это технология, используемая в различных отраслях промышленности для создания защитных, декоративных или функциональных слоев на поверхности изделий. Этот метод позволяет получить равномерное и качественное покрытие с минимальными затратами времени и материалов. В данной статье мы рассмотрим основные принципы вакуумного нанесения покрытий, а также оборудование, которое используется для реализации этой технологии.
Станки для вакуумного нанесения покрытий являются ключевыми элементами в процессе создания защитных и декоративных слоев. Они позволяют точно контролировать процесс нанесения, обеспечивая равномерное распределение материала по поверхности изделия.
Предназначены для нанесения широкого спектра различных покрытий на поверхность оптических деталей. Среди прочего, это: AR-покрытия, различные фильтры, зеркала, офтальмологические покрытия, металлизационные покрытия.
Model GTV-600 GTV-900 GTV-1150 GTV-2050 GTV-2700
| Модель | GTV-600 | GTV-900 | GTV-1150 | GTV-1350 | GTV-1600 | GTV-1800 | |
| Размер камеры | ∅600xh750 | ∅920xh1000 | ∅1150xh1300 | ∅1350xh1500 | ∅1600xh1800 | ∅1800xh1900 | |
| Структура | Вертикальная камера с одной дверью, нержавеющая сталь SUS304, с водяным охлаждением | ||||||
| Длинна волны | 200nm~25000nm | ||||||
| Скорость поворота | 0~30 об/мин (регулируемая) | ||||||
| Скорость откачки | Атмосферное давление до 1,5x10-3Па, ≤20 мин. | ||||||
| Абсолютный вакуум | 9.0x10-5Pa | ||||||
| Материал покрытия | H4, Ge, Au, Ag, Cu, Al, SiO, Ta2O5, TiO2, Ti3O5, ZrO2, ZnS, Al2O3, Nb2O5, SiO2, MgF2, YbF3, ZnZs, ZnSe | ||||||
| Крепление подложки | Одинарный или разделенный вращающийся купол, планетарный механизм, калотт, перекидной планетарный механизм или уникальное расположение по особым требованиям. | ||||||
| Вакуумный контроллер | Вакуумный контроллер, манометр Пеннинга, манометр Пирани | ||||||
| Контроллер толщины | Quartz Crystal Controller | ||||||
| Приложения | AR, УФ/ИК-фильтр, AF, покрытие с улучшенным отражением, декоративное покрытие, полосовой фильтр, RGB-фильтр, фотокатализатор, HR-покрытие и т. д. | ||||||
Описание: GTCK-1800 представляет собой однокорпусную машину для нанесения покрытий методом напыления, несколько молекулярных насосов обеспечивают отличные условия вакуума, которые могут соответствовать стабильным условиям распыления. Оптическая окислительная пленка получается в результате реакции пост-окисления или одновременного окисления.
Спецификация GTCK-1800
| Размер камеры | 1200, 1400, 1600, 1800, 2000мм |
| Вакуумная система | Пластинчато-роторный насос + насос Рутса + диффузионный насос + насос для обслуживания Или молекулярный насос, криогенный насос, криогенная система и т. д. выбираются в соответствии с применением. |
| Распыляющая система | Принятый метод магнетронионного распыления, 4 группы (2 группы кремниевых мишеней + 2 группы мишеней из оксида ниобия) используются в качестве источника распыления, а источник питания промежуточной частоты используется для обеспечения необходимой энергии для катода. |
| Ионный источник | Система источника ионов анодного слоя |
| Глубокий вакуум | 8x10-5Pa |
| Время накачки | Atmosphere to 1x10-3Pa, ＜13min |
| Повторяемость | ≤1 |
Горизонтальное оборудование для вакуумного нанесения покрытий
| Спецификация | |||
| Размер камеры | Φ1100xH400mm | Восстановление вакуума | 4x10-3Па，<12мин. |
| Держатель заготовки | Φ950 | Температура нагрева | 350 С max |
| Монитор | SQC310 Single Sensor | Электроэнергия | 3 фазы、38050Гц |
| Источник электронного луча | Одиночный | Вес | 2,000 кг |
| Вакуумная система | Диффузионный насос+Двухступенчатый ротационный насос+Насос Рутса | ||
Автоматическое плавильное оборудование
Описание: Плавильная машина серии RL, являющаяся вспомогательным оборудованием высокоточной машины для нанесения оптического покрытия, может значительно повысить эффективность производства машины для нанесения покрытия. Ее общая структура и функциональные узлы каждой системы хорошо отвечают требованиям автоматической плавки. Он обладает функциями автоматического плавления одной кнопкой, низким потреблением энергии, простотой эксплуатации, большим количеством тиглей, интегрированной структурой, небольшой занимаемой площадью и высокой общей эффективностью плавления.
| Основная спецификация | |
| Размер | 1780x1780x2000мм |
| Вакуумная система | Механический насос + Молекулярный насос |
| Тигель | EB Источник + Тигель с 48 карманами |
| Высокий вакуум | < 4,0x10-4 Па |
Радиочастотные источники ионов GTRF-17 и GTRF-23 имеют продолжительный рабочий день, высокую энергию, большую однородную площадь, точный контроль энергии ионов и плотности луча, а также низкий уровень загрязнения. Они подходят для прецизионных оптических покрытий, таких как ИК-фильтры, и оптических фильтров. приложение.
HollowCathodeHallSource обладает характеристиками: Длительной работы при невысокой температуре, небольшой абсорбции, высокого или низкого тока ионного луча и длительного срока службы. Он подходит для покрытия инфракрасного излучения, пластика, оптического волокна и стекла AR/IR. Продукция Guotiavac широко используется в полупроводниковой, военной, аэрокосмической, медицинской, автомобильной, химической промышленности, мобильных телефонах, лазерных, инфракрасных, оптических приборах, датчиках, линзах, очках, упаковке и декорировании.
Встроенная система контроля HOMS позволяет эффективно определять оптическую толщину каждого слоя, даже при изменении параметров технологического процесса в ходе напыления, что позволяет гарантировать стабильно высокую воспроизводимость результата и высокую точность соблюдения заданных характеристик.
В установках используется система ионного ассистирования, позволяющая снизить температуру процесса и повысить его точность.
Общие технические характеристики установок нанесения прецизионных покрытий HANIL VACUUM
| Диаметр рабочей камеры, мм | 800 ~ 1800. По заказу возможно изготовление иных камер с увеличенными размерами |
| Низковакуумный насос | Масляный роторный насос (опционально: сухой насос), механический бустерный насос |
| Высоковакуумный насос | Масляный диффузионный насос (опционально: криогенный насос), криогенный |
| Испаритель | Электронно-лучевой источник, RHS |
| Ионный источник | Опционально: типа Mark II / RF ионный источник |
| Система нагрева | Опционально: галогеновый нагреватель / нагреватель с микрообшивкой |
| Система контроля | QCM – кварцевая система мониторинга (Опционально: система HOMS) |
| Фиксация подложек | Опционально: одиночный купол, сегментированный купол, планетарное расположение |
Установки нанесения AR-покрытий для офтальмологических линз
Гибкость для различных задач (AR-покрытия, Зеркала, Цветные фильтры)
| Размер камеры (диаметр, мм) | Размер линз | 800 | 900 | 1050 | 1200 | 1350 |
| Одиночный купол | 70 | 100 | 114 | 214 | 250 | |
| 75 | 84 | 92 | 190 | 220 | ||
| 80 | 76 | 79 | 144 | 192 | ||
| 3-х секционный купол | 75 | 54 | 90 | 104 | 160 | 189 |
Оптимальны для мелкосерийного и среднесерийного производства прецизионных оптических линз. Позволяют осуществлять нанесение многослойных оптических покрытий, таких как: AR-покрытия, фильтры, диэлектрические зеркала, широкополосные фильтры, ИК-фильтры и пр.
Конкретная спецификация оборудования определяется на основе имеющихся задач.
