Предназначены для нанесения широкого спектра различных покрытий на поверхность оптических деталей. Среди прочего, это: AR-покрытия, различные фильтры, зеркала, офтальмологические покрытия, металлизационные покрытия.
Встроенная система контроля HOMS позволяет эффективно определять оптическую толщину каждого слоя, даже при изменении параметров технологического процесса в ходе напыления, что позволяет гарантировать стабильно высокую воспроизводимость результата и высокую точность соблюдения заданных характеристик.
В установках используется система ионного ассистирования, позволяющая снизить температуру процесса и повысить его точность.
Общие технические характеристики установок нанесения прецизионных покрытий HANIL VACUUM
| Диаметр рабочей камеры, мм | 800 ~ 1800. По заказу возможно изготовление иных камер с увеличенными размерами |
| Низковакуумный насос | Масляный роторный насос (опционально: сухой насос), механический бустерный насос |
| Высоковакуумный насос | Масляный диффузионный насос (опционально: криогенный насос), криогенный |
| Испаритель | Электронно-лучевой источник, RHS |
| Ионный источник | Опционально: типа Mark II / RF ионный источник |
| Система нагрева | Опционально: галогеновый нагреватель / нагреватель с микрообшивкой |
| Система контроля | QCM – кварцевая система мониторинга (Опционально: система HOMS) |
| Фиксация подложек | Опционально: одиночный купол, сегментированный купол, планетарное расположение |
Установки нанесения AR-покрытий для офтальмологических линз
Гибкость для различных задач (AR-покрытия, Зеркала, Цветные фильтры)
| Размер камеры (диаметр, мм) | Размер линз | 800 | 900 | 1050 | 1200 | 1350 |
| Одиночный купол | 70 | 100 | 114 | 214 | 250 | |
| 75 | 84 | 92 | 190 | 220 | ||
| 80 | 76 | 79 | 144 | 192 | ||
| 3-х секционный купол | 75 | 54 | 90 | 104 | 160 | 189 |
Оптимальны для мелкосерийного и среднесерийного производства прецизионных оптических линз. Позволяют осуществлять нанесение многослойных оптических покрытий, таких как: AR-покрытия, фильтры, диэлектрические зеркала, широкополосные фильтры, ИК-фильтры и пр.
Конкретная спецификация оборудования определяется на основе имеющихся задач.
