Вакуумное нанесение покрытий

Вакуумное нанесение покрытий – это технология, используемая в различных отраслях промышленности для создания защитных, декоративных или функциональных слоев на поверхности изделий. Этот метод позволяет получить равномерное и качественное покрытие с минимальными затратами времени и материалов. В данной статье мы рассмотрим основные принципы вакуумного нанесения покрытий, а также оборудование, которое используется для реализации этой технологии.

Станки для вакуумного нанесения покрытий


Станки для вакуумного нанесения покрытий являются ключевыми элементами в процессе создания защитных и декоративных слоев. Они позволяют точно контролировать процесс нанесения, обеспечивая равномерное распределение материала по поверхности изделия.

 

Предназначены для нанесения широкого спектра различных покрытий на поверхность оптических деталей. Среди прочего, это: AR-покрытия, различные фильтры, зеркала, офтальмологические покрытия, металлизационные покрытия.

 

Купить станки для вакуумного нанесения покрытий

Model GTV-600 GTV-900 GTV-1150 GTV-2050 GTV-2700

Модель GTV-600 GTV-900 GTV-1150 GTV-1350 GTV-1600 GTV-1800
Размер камеры ∅600xh750 ∅920xh1000 ∅1150xh1300 ∅1350xh1500 ∅1600xh1800 ∅1800xh1900
Структура Вертикальная камера с одной дверью, нержавеющая сталь SUS304, с водяным охлаждением  
Длинна волны 200nm~25000nm  
Скорость поворота 0~30 об/мин (регулируемая)  
Скорость откачки Атмосферное давление до 1,5x10-3Па, ≤20 мин.
Абсолютный вакуум 9.0x10-5Pa
Материал покрытия H4, Ge, Au, Ag, Cu, Al, SiO, Ta2O5, TiO2, Ti3O5, ZrO2, ZnS, Al2O3, Nb2O5, SiO2, MgF2, YbF3, ZnZs, ZnSe
Крепление подложки Одинарный или разделенный вращающийся купол, планетарный механизм, калотт, перекидной планетарный механизм или уникальное расположение по особым требованиям.
Вакуумный контроллер Вакуумный контроллер, манометр Пеннинга, манометр Пирани
Контроллер  толщины Quartz Crystal Controller
Приложения AR, УФ/ИК-фильтр, AF, покрытие с улучшенным отражением, декоративное покрытие, полосовой фильтр, RGB-фильтр, фотокатализатор, HR-покрытие и т. д.

 

Оборудование для магнетронного распыления

 

Описание: GTCK-1800 представляет собой однокорпусную машину для нанесения покрытий методом напыления, несколько молекулярных насосов обеспечивают отличные условия вакуума, которые могут соответствовать стабильным условиям распыления. Оптическая окислительная пленка получается в результате реакции пост-окисления или одновременного окисления.

Спецификация GTCK-1800

Размер камеры 1200, 1400, 1600, 1800, 2000мм
Вакуумная система Пластинчато-роторный насос + насос Рутса + диффузионный насос + насос для обслуживания Или молекулярный насос, криогенный насос, криогенная система и т. д. выбираются в соответствии с применением.
Распыляющая система Принятый метод магнетронионного распыления, 4 группы (2 группы кремниевых мишеней + 2 группы мишеней из оксида ниобия) используются в качестве источника распыления, а источник питания промежуточной частоты используется для обеспечения необходимой энергии для катода.
Ионный источник Система источника ионов анодного слоя
Глубокий вакуум 8x10-5Pa
Время накачки Atmosphere to 1x10-3Pa, <13min
Повторяемость ≤1

 

Горизонтальное оборудование для вакуумного нанесения покрытий

 

Спецификация
Размер камеры Φ1100xH400mm Восстановление вакуума 4x10-3Па,<12мин.
Держатель заготовки Φ950 Температура нагрева 350 С max
Монитор SQC310 Single Sensor Электроэнергия 3 фазы、38050Гц
Источник электронного луча Одиночный Вес 2,000 кг
Вакуумная система Диффузионный насос+Двухступенчатый ротационный насос+Насос Рутса    

 

Автоматическое плавильное оборудование

 

Описание: Плавильная машина серии RL, являющаяся вспомогательным оборудованием высокоточной машины для нанесения оптического покрытия, может значительно повысить эффективность производства машины для нанесения покрытия. Ее общая структура и функциональные узлы каждой системы хорошо отвечают требованиям автоматической плавки. Он обладает функциями автоматического плавления одной кнопкой, низким потреблением энергии, простотой эксплуатации, большим количеством тиглей, интегрированной структурой, небольшой занимаемой площадью и высокой общей эффективностью плавления.

Основная спецификация
Размер 1780x1780x2000мм
Вакуумная система Механический насос + Молекулярный насос
Тигель EB Источник + Тигель с 48 карманами
Высокий вакуум < 4,0x10-4 Па

Радиочастотный источник ионов

Радиочастотные источники ионов GTRF-17 и GTRF-23 имеют продолжительный рабочий день, высокую энергию, большую однородную площадь, точный контроль энергии ионов и плотности луча, а также низкий уровень загрязнения. Они подходят для прецизионных оптических покрытий, таких как ИК-фильтры, и оптических фильтров. приложение.  

Источник ионов с полым катодом

HollowCathodeHallSource обладает характеристиками: Длительной работы при невысокой температуре, небольшой абсорбции, высокого или низкого тока ионного луча и длительного срока службы. Он подходит для покрытия инфракрасного излучения, пластика, оптического волокна и стекла AR/IR.   Продукция Guotiavac широко используется в полупроводниковой, военной, аэрокосмической, медицинской, автомобильной, химической промышленности, мобильных телефонах, лазерных, инфракрасных, оптических приборах, датчиках, линзах, очках, упаковке и декорировании.

Установка нанесения прецизионных покрытий HANIL VACUUM

Встроенная система контроля HOMS позволяет эффективно определять оптическую толщину каждого слоя, даже при изменении параметров технологического процесса в ходе напыления, что позволяет гарантировать стабильно высокую воспроизводимость результата и высокую точность соблюдения заданных характеристик.

В установках используется система ионного ассистирования, позволяющая снизить температуру процесса и повысить его точность.

Общие технические характеристики установок нанесения прецизионных покрытий HANIL VACUUM 

Диаметр рабочей камеры, мм 800 ~ 1800. По заказу возможно изготовление иных камер с увеличенными размерами 
Низковакуумный насос   Масляный роторный насос (опционально: сухой насос), механический бустерный насос
Высоковакуумный насос  Масляный диффузионный насос (опционально: криогенный насос), криогенный
Испаритель  Электронно-лучевой источник, RHS
Ионный источник Опционально: типа Mark II / RF ионный источник 
Система нагрева Опционально: галогеновый нагреватель / нагреватель с микрообшивкой 
Система контроля QCM – кварцевая система мониторинга (Опционально: система HOMS) 
Фиксация подложек Опционально: одиночный купол, сегментированный купол, планетарное расположение 

Установки нанесения AR-покрытий для офтальмологических линз

  • Высокая производительность
  • Быстрое время цикла
  • Превосходная однородность
  • Стабильная повторяемость
  • Сервис удаленного контроля
  • Низкие производственные издержки

Гибкость для различных задач (AR-покрытия, Зеркала, Цветные фильтры)

Размер камеры (диаметр, мм) Размер линз 800 900 1050 1200 1350
Одиночный купол 70   100 114 214 250
75 84 92 190 220
80 76 79 144 192
3-х секционный купол 75 54 90 104 160 189

Установки нанесения прецизионных оптических покрытий

Оптимальны для мелкосерийного и среднесерийного производства прецизионных оптических линз. Позволяют осуществлять нанесение многослойных оптических покрытий, таких как: AR-покрытия, фильтры, диэлектрические зеркала, широкополосные фильтры, ИК-фильтры и пр.

Конкретная спецификация оборудования определяется на основе имеющихся задач.

Оформите заявку, мы свяжемся с вами в ближайшее время