Вакуумное нанесение покрытий

Предназначены для нанесения широкого спектра различных покрытий на поверхность оптических деталей. Среди прочего, это: AR-покрытия, различные фильтры, зеркала, офтальмологические покрытия, металлизационные покрытия.

Встроенная система контроля HOMS позволяет эффективно определять оптическую толщину каждого слоя, даже при изменении параметров технологического процесса в ходе напыления, что позволяет гарантировать стабильно высокую воспроизводимость результата и высокую точность соблюдения заданных характеристик.

В установках используется система ионного ассистирования, позволяющая снизить температуру процесса и повысить его точность.

Общие технические характеристики установок нанесения прецизионных покрытий HANIL VACUUM 

Диаметр рабочей камеры, мм 800 ~ 1800. По заказу возможно изготовление иных камер с увеличенными размерами 
Низковакуумный насос   Масляный роторный насос (опционально: сухой насос), механический бустерный насос
Высоковакуумный насос  Масляный диффузионный насос (опционально: криогенный насос), криогенный
Испаритель  Электронно-лучевой источник, RHS
Ионный источник Опционально: типа Mark II / RF ионный источник 
Система нагрева Опционально: галогеновый нагреватель / нагреватель с микрообшивкой 
Система контроля QCM – кварцевая система мониторинга (Опционально: система HOMS) 
Фиксация подложек Опционально: одиночный купол, сегментированный купол, планетарное расположение 

Установки нанесения AR-покрытий для офтальмологических линз

  • Высокая производительность
  • Быстрое время цикла
  • Превосходная однородность
  • Стабильная повторяемость
  • Сервис удаленного контроля
  • Низкие производственные издержки

Гибкость для различных задач (AR-покрытия, Зеркала, Цветные фильтры)

Размер камеры (диаметр, мм) Размер линз 800 900 1050 1200 1350
Одиночный купол 70   100 114 214 250
75 84 92 190 220
80 76 79 144 192
3-х секционный купол 75 54 90 104 160 189

Установки нанесения прецизионных оптических покрытий

Оптимальны для мелкосерийного и среднесерийного производства прецизионных оптических линз. Позволяют осуществлять нанесение многослойных оптических покрытий, таких как: AR-покрытия, фильтры, диэлектрические зеркала, широкополосные фильтры, ИК-фильтры и пр.

Конкретная спецификация оборудования определяется на основе имеющихся задач.

Оформите заявку, мы свяжемся с вами в ближайшее время